近日，武汉天河机场迎来了一箱比黄金还要贵重的进口设备！

据cnBeta、环球网、快科技等多家媒体证实，长江存储从荷兰阿斯麦（ASML）公司订购的一台光刻机已抵达武汉。这台光刻机价值高达7200万美元，约合人民币4.6亿元。

另据日经亚洲评论（Nikkei Asian Review）上周报道，中芯国际也向阿斯麦下单了一台价值高达1.2亿美元的EUV（极紫外线）光刻机。这台机器预计将于2019年初交货。

每经小编（微信号：nbdnews）注意到，荷兰当地媒体《埃因霍温经济报》也证实了上述消息。

从飞利浦独立出来的阿斯麦公司在高端光刻机领域占据了全球90%的市场份额。光刻机（又称曝光机）是生产大规模集成电路的核心设备，对芯片工艺有着决定性的影响。

如今，中国两家企业先后订购了两台高端光刻机，总价值约12.3亿元人民币。据日经亚洲评论报道，阿斯麦公司有关人士否认有媒体关于“高端光刻机对中国大陆禁运”的传闻，强调对中国大陆客户一视同仁。

此外，阿斯麦公司接受中芯国际订单的时间点是在今年4月中兴通讯遭遇美国制裁之后。

长江存储迎来第一台光刻机

2016年，紫光集团与国家集成电路产业投资基金、湖北科投等合资成立了长江存储，注册资本额为人民币386亿元。长江存储公司是中国高端芯片联盟发起单位之一，被寄望推动中国半导体产业自主研发。

据快科技等报道，长江存储订购的这台光刻机采用193nm沉浸式设计，可生产20-14nm工艺的3D NAND闪存晶圆，售价达7200万美元，约合人民币4.6亿元。

目前，该机已经运抵武汉天河机场，相关入境手续办理完毕后，即可运至长江存储的工厂。

根据官网资料，2016年底，国家存储器基地项目(一期)一号生产和动力厂房在武汉正式开工建设，2017年9月底提前封顶，2018年4月5日首批价值400万美元的精密仪器进场安装。

▲国家存储器基地项目芯片生产机安装仪式（图片来源：长江存储官网）

目前，长江存储拥有完全自主知识产权的32层堆叠3D NAND闪存已经开始试产，不少产业链企业都拿到了样片测试，预计今年第四季度量产。同时，长江存储还在推进64层堆叠3D闪存，力争2019年底实现规模量产，将与世界领先水平差距缩短到2年之内。

中芯国际进军“7纳米”时代

每经小编（微信号：nbdnews）注意到，2000年成立的中芯国际（SMIC）总部位于上海。在港股上市的中芯国际据称是中国大陆规模最大、技术最先进的集成电路芯片制造企业之一。

据日经亚洲评论报道，尽管中芯国际在这一市场仍落后于市场领先者两至三代技术，但是购买到目前世界最先进的EUV光刻机，彰显了其努力追赶的决心。

▲阿斯麦官网产品示意图

EUV是目前世界上最昂贵也是最先进的芯片生产工具。小于5纳米的芯片晶圆，目前只能用EUV光刻机生产。三星电子和台积电目前正竞争生产7纳米工艺技术芯片，这两家都订购了阿斯麦公司的EUV光刻机。

中芯国际这次引进的EUV光刻机预计将于2019年初交付。而在2017年3月，中芯国际宣布将进军7纳米工艺技术的研发。

有芯片行业高管表示，

“购买这样的机器虽然不能保证100%成功，但这至少显示了中芯国际自主研发的决心和动力。”

光学研究机构人士表示，

“这台光刻机一旦安装完成，将会极大缩短工艺时长，并且让厂商有能力尝试生产更复杂的高精度芯片。”

中芯国际2017年净利润为1.264亿美元，几乎全部用于这台光刻机的订购了。2018年一季度，中芯国际净利润为2937万美元。

中芯国际联合首席执行官赵海军在5月10日的财报电话会议上称，该公司将2018年芯片生产的全年资本支出从19亿美元上调至23亿美元。